蝕刻加工工藝之多臺階蝕刻
多臺階蝕刻其實(shí)就是選擇性蝕刻在實(shí)際生產(chǎn)中的另一種應(yīng)用方式,是用選擇性蝕刻的方法在零件上腐蝕出各種不同深度的一種蝕刻加工方法,也稱為分步切削腐蝕加工。通過這種方法腐蝕的各種不同深度可以用未腐蝕的凸臺分隔開,也可以相互鄰接最終形成梯形的剖面。
其加工程序是:最先曝露蝕刻的部位,也就是最終腐蝕得最深的部位,對深度大的腐蝕應(yīng)特別注意側(cè)蝕量及多臺階累計公差的精確計算。
在多臺階蝕刻加工中要特別注意加工公差問題,由于在多次蝕刻加工過程中,公差會逐漸積累起來,因而,每一次蝕刻加工都必須取公差的中值。并且在實(shí)際蝕刻過程中,還需要對腐蝕的尺寸進(jìn)行精確測量,以便可以補(bǔ)救偏離公差的部分。
在多臺階蝕刻加工中還要注意一個問題,就是經(jīng)腐蝕后的各層臺階邊緣的幾何形狀是會隨著腐蝕深度的增加而變化,如果想要達(dá)到預(yù)期的幾何邊緣,就需要選擇與之相適應(yīng)的腐蝕方法。
在多臺階蝕刻加工中,有兩個關(guān)鍵尺寸的配合,即腐蝕深度和側(cè)蝕量的配合。只有這兩者都達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)與結(jié)合,才能蝕刻加工出設(shè)計要求的產(chǎn)品。腐蝕深度和側(cè)蝕量都要可以取得精確的數(shù)據(jù),再根據(jù)這些數(shù)據(jù),確定每個臺階的蝕刻時間及每個臺階的窗口尺寸。
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